Оптичкиот дизајн има широк опсег на апликации во полето на полупроводниците. Во машината за фотолитографија, оптичкиот систем е одговорен за фокусирање на светлосниот зрак што го емитува изворот на светлина и го проектира на силиконската обланда за да се изложи шемата на колото. Затоа, дизајнот и оптимизацијата на оптичките компоненти во системот за фотолитографија е важен начин за подобрување на перформансите на машината за фотолитографија. Следниве се некои од оптичките компоненти што се користат во фотолитографските машини:
Цел на проекција
01 Целта на проекцијата е клучна оптичка компонента во машината за литографија, која обично се состои од серија леќи вклучувајќи конвексни леќи, конкавни леќи и призми.
02 Неговата функција е да ја намали шемата на колото на маската и да ја фокусира на обландата обложена со фоторезист.
03 Точноста и перформансите на целта на проекцијата имаат одлучувачко влијание врз резолуцијата и квалитетот на сликата на машината за литографија
Огледало
01 Огледаласе користат за промена на правецот на светлината и нејзино насочување на правилната локација.
02 Во машините за литографија EUV, огледалата се особено важни бидејќи EUV светлината лесно се апсорбира од материјалите, па затоа мора да се користат огледала со висока рефлексивност.
03 Површинската точност и стабилноста на рефлекторот исто така имаат големо влијание врз перформансите на машината за литографија.
Филтри
01 Филтри се користат за отстранување на несаканите бранови должини на светлината, со што се подобрува точноста и квалитетот на процесот на фотолитографија.
02 Со избирање на соодветниот филтер, може да се осигура дека во машината за литографија влегува само светлина со одредена бранова должина, а со тоа се подобрува точноста и стабилноста на процесот на литографија.
Призми и други компоненти
Дополнително, машината за литографија може да користи и други помошни оптички компоненти, како што се призми, поларизатори итн., за да ги исполни специфичните барања за литографија. Изборот, дизајнот и производството на овие оптички компоненти мора строго да ги следи релевантните технички стандарди и барања за да се обезбеди висока прецизност и ефикасност на машината за литографија.
Накратко, примената на оптичките компоненти во областа на машините за литографија има за цел да ги подобри перформансите и производната ефикасност на машините за литографија, а со тоа да го поддржи развојот на индустријата за производство на микроелектроника. Со континуираниот развој на технологијата за литографија, оптимизацијата и иновативноста на оптичките компоненти ќе обезбеди и поголем потенцијал за производство на чипови од следната генерација.
За повеќе сознанија и стручни совети, посетете ја нашата веб-страница наhttps://www.jiujonoptics.com/да дознаете повеќе за нашите производи и решенија.
Време на објавување: Јан-02-2025 година
