Оптичкиот дизајн има широк спектар на примени во полето на полупроводници. Во фотолитографски апарат, оптичкиот систем е одговорен за фокусирање на светлосниот зрак што го емитираат изворот на светлина и негово проектирање врз силиконската плоча за да се открие шемата на колото. Затоа, дизајнот и оптимизацијата на оптичките компоненти во фотолитографскиот систем се важен начин за подобрување на перформансите на фотолитографскиот апарат. Следниве се некои од оптичките компоненти што се користат во фотолитографските апарати:
Цел на проекцијата
01 Проекцискиот објектив е клучна оптичка компонента во машината за литографија, која обично се состои од серија леќи, вклучувајќи конвексни леќи, конкавни леќи и призми.
02 Неговата функција е да го намали шаблонот на колото на маската и да го фокусира на плочата обложена со фотоотпорник.
03 Точноста и перформансите на проекцискиот објектив имаат одлучувачко влијание врз резолуцијата и квалитетот на сликата на литографската машина
Огледало
01 Огледаласе користат за промена на насоката на светлината и нејзино насочување кон точната локација.
02 Кај EUV литографските машини, огледалата се особено важни бидејќи EUV светлината лесно се апсорбира од материјалите, па затоа мора да се користат огледала со висока рефлективност.
03 Точноста на површината и стабилноста на рефлекторот исто така имаат големо влијание врз перформансите на машината за литографија.
Филтри
01 Филтрите се користат за отстранување на несаканите бранови должини на светлината, подобрувајќи ја точноста и квалитетот на процесот на фотолитографија.
02 Со избирање на соодветен филтер, може да се осигура дека само светлина со одредена бранова должина влегува во машината за литографија, со што се подобрува точноста и стабилноста на процесот на литографија.
Призми и други компоненти
Покрај тоа, машината за литографија може да користи и други помошни оптички компоненти, како што се призми, поларизатори итн., за да ги задоволи специфичните барања за литографија. Изборот, дизајнот и производството на овие оптички компоненти мора строго да ги следат релевантните технички стандарди и барања за да се обезбеди висока прецизност и ефикасност на машината за литографија.
Накратко, примената на оптички компоненти во областа на литографските машини има за цел да ги подобри перформансите и ефикасноста на производството на литографските машини, со што ќе се поддржи развојот на индустријата за производство на микроелектроника. Со континуираниот развој на литографската технологија, оптимизацијата и иновациите на оптичките компоненти, исто така, ќе обезбедат поголем потенцијал за производство на чипови од следната генерација.
За повеќе информации и стручни совети, посетете ја нашата веб-страница наhttps://www.jiujonoptics.com/за да дознаете повеќе за нашите производи и решенија.
Време на објавување: 02.01.2025
