Оптичкиот дизајн има широк спектар на апликации во полето на полупроводници. Во машината за фотолитографија, оптичкиот систем е одговорен за фокусирање на светлосен зрак што е испуштен од изворот на светлина и да го проектира на силиконскиот нафора за да ја изложи шемата на колото. Затоа, дизајнирањето и оптимизацијата на оптичките компоненти во системот за фотолитографија е важен начин за подобрување на перформансите на машината за фотолитографија. Следниве се некои од оптичките компоненти што се користат во машините за фотолитографија:
Целта на проекцијата
01 Целта на проекцијата е клучна оптичка компонента во машината за литографија, обично се состои од серија леќи, вклучувајќи конвексни леќи, конкавни леќи и призми.
02 Неговата функција е да ја намали шемата на колото на маската и да ја фокусира на нафтата обложена со фоторезист.
03 Точноста и перформансите на целта на проекцијата имаат одлучувачко влијание врз резолуцијата и квалитетот на сликата на машината за литографија
Огледало
01 Огледаласе користат за промена на насоката на светлината и да се насочи кон точната локација.
02 Во машините за литографија на ЕУВ, огледалата се особено важни затоа што светлината на ЕУВ лесно се апсорбира од материјали, затоа мора да се користат огледала со голема рефлексивност.
03 Точноста на површината и стабилноста на рефлекторот исто така имаат големо влијание врз перформансите на машината за литографија.
Филтри
01 филтрите се користат за отстранување на несаканите бранови должини на светлината, подобрување на точноста и квалитетот на процесот на фотолитографија.
02 Со избирање на соодветниот филтер, може да се обезбеди дека само светлината на специфична бранова должина влегува во машината за литографија, а со тоа ја подобрува точноста и стабилноста на процесот на литографија.
Призми и други компоненти
Покрај тоа, машината за литографија може да користи и други помошни оптички компоненти, како што се призми, поларизатори, итн., За да ги исполни специфичните барања за литографија. Изборот, дизајнирањето и производството на овие оптички компоненти мора строго да ги следат релевантните технички стандарди и барања за да се обезбеди висока прецизност и ефикасност на машината за литографија.
Накратко, примената на оптичките компоненти во областа на машините за литографија има за цел да ги подобри перформансите и ефикасноста на производството на машините за литографија, а со тоа да го поддржи развојот на индустријата за производство на микроелектроника. Со континуиран развој на технологијата на литографија, оптимизацијата и иновацијата на оптичките компоненти, исто така, ќе обезбеди поголем потенцијал за производство на чипови од следната генерација.
За повеќе увид и стручни совети, посетете ја нашата веб -страница наhttps://www.jiujonoptics.com/За да дознаете повеќе за нашите производи и решенија.
Време на објавување: Јануари-02-2025
